A社のインチワーム式ピエゾドライバーの駆動性能を検査した結果。1ステップで41.,9+1.39 nm移動することがわかる。移動直後のスパイク状信号は、機械系で起こったnmスケールの減衰振動を示す (by N. Noda, Sept. 2004).
上記データの加算平均処理結果 (by N. Noda, Sept. 2004)